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蚀刻机
发布时间：2022-08-25 11:41:44
①单晶圆清洗设备采取旋转喷淋的方式，用化学喷雾对单晶圆进行清洗的设备②自动清洗机（槽式全自动清洗设备）在化学槽中同时清洗多个晶圆的设备，原理为利用机械手臂将放置晶圆的载体依次放入不同腔室进行各步清洗③洗刷机（刷洗机）采取旋转喷淋的方式，但配合机械擦拭的设备
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